高时空分辨电子显微镜
关键技术二:像差校正器关键技术
球差及色差修正器都是多极透镜的组合,当前市场上尚未有桌上型电子显微镜的球差校正器的设计和制造。项目团队为桌上型扫描穿透电子显微镜设计了一个小型的六极像差修正器,这一成果已经发表成文 (Ultramicroscopy 2017)并获得专利。
结合这一成果,本项目设计和制造能同时校正色差与球差的像差校正器,并在自主设计的低电压电子显微镜上进行硬件测试。
(a)球面像差修正器的设计图
(b)显示当圆形透镜R1的强度偏离±1%的电子轨迹
(c)六极相差修正器的实体